オープンファシリティ新規登録 CD-SEM

4月1日より、オープンファシリティ装置数理物質系アドバンストSEM共同利用機器)として利用可能になりました。

高分解能FEB測長装置(CD-SEM) CS4800

測長SEM(CD-SEM:Critical Dimension-Scanning Electron Microscope)と呼ばれる走査型電子顕微鏡(SEM)の応用装置です。本来は半導体等のウエハ上に形成された微細パターンの寸法計測に用いられる装置で、一般に半導体等の電子デバイスの製造ラインで使用されています。低加速電圧での高分解能観察に適しており、標準で300Vの低加速での試料表面観察が可能です。また連続自動撮像の機能を有するために、大きな視野を高分解能で観察することが出来ます。4、8インチウェハ用の計測用装置ですが、小片試料でもウエハに試料を張り付けることにより観察が可能です。