オープンファシリティ新規登録 FIB

4月1日より、オープンファシリティ装置数理物質系アドバンストSEM共同利用機器)として利用可能になりました。

集束イオンビーム加工観察装置JIB-4000

Gaイオンビームの照射により、高精度に試料加工を行う装置であり、主にSEMやTEMの試料作製に利用されます。
Gaイオンのスパッタリング効果により、試料にミクロンサイズの矩形の穴あけ加工(粗加工)を行うことが可能です。小さなイオン電流で試料表面の像観察を行うことができるため、異物や欠陥などを抽出してピンポイントな加工を行うことも可能です。また、この装置を利用して、マイクロ、ナノデバイスの加工もできます。