走査電子顕微鏡の世界(数理物質科学コロキュウム)

題目:走査電子顕微鏡の世界
講 師: 関 口 隆 史 教授・ 早 田 康 成 教授(電子・物理工学専攻)
日 時:4月18日(木)16:45~18:00(6時限)
場所:筑波大学 第1エリア 1H201

走査電子顕微鏡(SEM)の基礎からSEMを用いた様々な応用観察例を解説。
アドバンストSEM研究室が取り組むSEMを使った最先端の半導体研究を紹介しました。