2019年度第2回数理物質科学コロキュウム

2019年度第2回数理物質科学コロキュウム
課 題:走査電子顕微鏡の世界
講 師: 関 口 隆 史 ・ 早 田 康 成
(電子・物理工学専攻)
日 時:4月18日(木)16:45~18:00(6時限)
場 所:1H201
【講演要旨】
形態観察は、実験の第一段階として必須の作業である。ナノの研究が盛んになり、サブ
ミクロンの材料を観察する必要が生じたため、走査電子顕微鏡(SEM)は、光学顕微鏡(OM)
の代替としての役割を果たすようになる。ただ、SEM とOM の原理はまったく違うと言
ってよい。SEM を例えればTV システムであり、nm オーダーに絞った電子ビームを試料
上で走査し、出力された二次電子(SE)や反射電子(BSE)を使って画面上に像を作る。
これらの信号は、試料の凹凸や組成、導電性によって変化するため、SEM 観察では形状だ
けでなく、組成分析などもできる。また、観察対象も金属、半導体、セラミックスといっ
た無機材料から、高分子、生体組織など多岐にわたる。
本講演では、SEM を用いたさまざまな観察例を紹介するとともに、我々が取り組んでい
るSEM を使った最先端の半導体研究を紹介する。