教授 伊藤 雅英
光学的手法による微細構造解析
XAFS透過法による微少成分分析
3次元画素解析
応用光学・量子光工学などの物理学の知識と方法により最先端のSEM研究を進め、幅広い視野と柔軟な思考力を持った研究者・技術者の育成を目指します。
教授 早田 康成
走査電子顕微鏡における電子光学系の研究
電子ビーム形成と電子ビーム評価を目的として、電子ビーム間や電子ビームと固体の相互作用、電子ビーム評価用試料の研究などに取り組みます。また、画像処理を取り込んだ新しい電子顕微鏡の提案を目指します。
教授 関口 隆史
SEMの物理学と画像形成技術に関する研究
SEM画像に含まれる物理情報を明らかにすることを目的とし、角度・エネルギー分解による二次電子検出と鏡体内散乱電子の制御に取り組んでいます。実験では、ナノ材料から生体組織まで、広く観察対象としています。
教授 佐々木 正洋
表面科学, 超音速分子線散乱技術と原子レベルでの固体表面の物性計測と制御
室温走査トンネル顕微鏡、超音速分子線錯乱、電界イオン、放射顕微鏡のユニークな基礎表面科学の手法により、ナノ世界の自己組織化現象の物理を基礎的に研究しています。
佐々木・山田研究室
准教授 山田 洋一
表面物理学ナノテクノロジー
走査トンネル顕微鏡や超音速分子線散乱法を用いて表面における低次元ナノ構造制御や低次元電子物性計測を行うことにより、表面科学に基づく自己組織化を探求しています。
佐々木・山田研究室
教授 末益 崇
環境半導体・窒化物磁性体の薄膜結晶成長
電子線・放射光による結晶評価
第一原理計算、デバイス工学
資源の豊富な元素で構成される新しい電子材料を薄膜成長し、太陽電池、スピントロニクス素子、熱電素子の応用を目指しています。 末益・都甲研究室
特命教授 山部 紀久夫
半導体の絶縁膜の信頼性に関する研究
半導体プロセスの観点から計測技術を見直し、AFM観察を融合し原子・分子の挙動を理解する半導体素子および物質のナノ計測技術を開発しています。
教授 蓮沼 隆
半導体基板上絶縁膜の信頼性に関する研究
ナノスケールデバイスへの応用を目指した半導体基板上絶縁膜及び金属配線材料の高信頼性設計技術の概念に基づく基礎研究に取り組んでいます。
研究員 星野 鉄哉 
SEM電子銃に関する研究
軟X線や可視光を用いて微細構造に選択的な集光と散乱スペクトルによる成分分布の統計的な解析を行い、電子源等の非破壊・非接触かつ高速定量的な計測を目指します。