SEMの性能向上や新たなアプリケーションの創出 
電子銃や信号検出器などのSEMの基盤技術の開発    

SEMの基盤技術について、より難易度の高い技術課題に取り組むことで、高分解能・高精度・高スルートップを実現する技術開発を目指します。産学連携のオープンイノベーションで得た研究成果を製品改良に生かし、IoTなどの社会インフラ、新材料の実用化、病理診断、創薬など幅広い分野を支える新たなSEMおよびSEMの応用製品の開発に取り組んでいきます。

 

SE像:SiO2 rod中に埋め込まれたSnO2ナノ粒子

SEMを使って材料評価に取り組む